德國ADL離子源電源GG 12 Beam用于微電子

公司簡介：

ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH是一家開發和制造商，生產電源和發電機，以及用于特殊工業應用和研究機構的電力電子設備。

ADL 濺射技術在產品和鍍膜設計方面擁有 30 多年的經驗和專業知識。這種專業知識使 ADL 成為各種薄膜涂層合作伙伴 - 用于顯示器、箔、玻璃、硬涂層、工具、裝飾表面、微電子等等。

產品介紹：

離子源電源GG 12 Beam 

產品特點：

在離子束和等離子體工藝技術中的廣泛應用

蝕刻、濺射等等

創新應用，例如微電子、光學和傳感器

工業生產領域

鍍膜工藝：在光學鍍膜、硬質涂層等工業鍍膜過程中，ADL GG 12 Beam 為離子源提供穩定的電力，使離子能夠均勻地轟擊靶材，實現高質量的薄膜沉積。這種高質量的鍍膜可以提高產品的耐磨性、耐腐蝕性、光學性能等，廣泛應用于眼鏡鏡片、刀具、汽車零部件等產品的表面處理。

半導體制造：在半導體芯片制造過程中，用于離子蝕刻、離子注入等關鍵工藝。通過精確控制離子源的參數，實現對芯片結構的高精度加工和摻雜，確保芯片的性能和可靠性。例如，在芯片的光刻工藝之后，利用離子蝕刻技術可以精確地去除不需要的半導體材料，形成復雜的電路結構；而離子注入則可以精確地控制半導體中的雜質濃度，從而調節晶體管的性能。

型號列表：

GG 03 Accelerator    09Z001

GG 03.1 Accelerator   09Z002

GG 08 Accelerator      09Z005

GG 12 Beam                09Z011

GG 12.1 Beam             09Z012

德國ADL離子源電源GG 12 Beam用于微電子